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논문 상세정보

Fabrication and characterization of SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$-Bi$_2$SiO$_5$ Thin Films by Pulsed Laser Deposition

Fabrication and characterization of SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$-Bi$_2$SiO$_5$ Thin Films by Pulsed Laser Deposition

Journal of the Korean Physical Society v.42 no.IV , 2003년, pp.1326 - 1329  
Yoshihide Toyoshima, Masanori Okuyama, Minoru Noda, Mitsue Takahashi
초록

SrBi2Ta2O9-Bi2SiO5 (SBT-BSO) thin lms have been prepared on Pt/Ti/SiO2/Si substrate bypulsed laser deposition at low temperature, 300 to 450 C . We succeeded in crystallizing SBT at350 C and P-E hysterisis loops of SBT-BSO thin lm were observed and the curve was almost thesame as that of SBT. Binding state of BSO has been investigated by XPS spectra, Raman spectraand AFM. As a result it is conrmed that the binding state of BSO in ceramics is dierent fromthat in lms prepared by PLD. Moreover we tried to anneal SBT and SBT-BSO thin lms in highpressure O2 atmosphere, and succeeded in improve ferroelectric properties about SBT.

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