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학위논문 상세정보

초크랄스키 실리콘 단결정에서 점결함이 산소석출에 미치는 영향

Oxygen Precipitation Behavior Related on Point Defects in CZ Si Single Crystal


황돈하 (충남대학교 대학원 금속공학과 물리야금 전공 국내박사)
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주제어

#초크랄스키 실리콘 점결함 산소석출;

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저자 황돈하
학위수여기관 충남대학교 대학원
학위구분 국내박사
학과 금속공학과 물리야금 전공
발행년도 2002
총페이지 iv, 106p.
키워드 초크랄스키 실리콘 점결함 산소석출
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T9190214&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

DOI 인용 스타일

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