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학위논문 상세정보

단일트랜지스터형 FeRAM을 위한 MFIS?망뗌?제작 및 특성분석에 관한 연구

A study on fabrication and characterization of MFIS structure for single transistor type FeRAM


신창호 (한국과학기술원 전기및전자공학전공 국내박사)
Abstract

Metal-ferroelectric-insulator-semiconductor field effect transistor (MFISFET) would be a promising nonvolatile memory due to its non-destructive readout property and a good scaling-down rule. In general, an insulating buffer layer needs to be inserted between ferroelectrics and silicon in order to d...

주제어

#FeRAM SBT $Al_2O_3$ retention post-annealing 강유전체 메모리 스트론튬비스무스탄탈네이트 알루미나 보존력 후속열처리;

참고문헌 (0)

  1. 이 논문의 참고문헌 없음

이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음
저자 신창호
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내박사
학과 전기및전자공학전공
지도교수 이희철,Lee, Hee Chul
발행년도 2002
총페이지 x, 115 p.
키워드 FeRAM SBT $Al_2O_3$ retention post-annealing 강유전체 메모리 스트론튬비스무스탄탈네이트 알루미나 보존력 후속열처리
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10505811&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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