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학위논문 상세정보

결정방향과 수직전장에 따른 MOS 표면 전자이동도의 변화에 대한 연구

A study on MOS surface electron mobility variation at high vertical field with crystal orientation


Choi, Joo-Sun (한국과학기술원 전기 및 전자공학과 국내석사)
Abstract

N-channel Si-MOSFET's are fabricated in (100), (110), (111) wafers to find surface inversion layer electron mobility at high fields and the dependence on crystal orientation for which Monte Carlo simulation is also undertaken. To see electron mobility anisotropy, MOSFET's in (110) wafer are placed s...

주제어

#Electron mobility Free surfaces (Crystallography) Monte Carlo method MOSFET 결정 구조 이온 이동도 표면 전하 Metal oxide semiconductor field-effect transistors;

참고문헌 (0)

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이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음
저자 Choi, Joo-Sun
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 전기 및 전자공학과
발행년도 1989
총페이지 [iii], 76 p.
키워드 Electron mobility Free surfaces (Crystallography) Monte Carlo method MOSFET 결정 구조 이온 이동도 표면 전하 Metal oxide semiconductor field-effect transistors
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10507130&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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