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학위논문 상세정보

다결정 실리콘의 Gauge factor 측정을 위한 외팔보 구조의 제작

Fabrication of cantilever structures for polysilicon Gauge factor measurements


신진현 (한국과학기술원 전기및전자공학과 국내석사)
Abstract

Stress-compensated cantilevers have been fabricated to measure polysilicon gauge factors. This structure consists of heavily boron-doped silicon, thermal $SiO_2$, LPCVD Silicon Nitride, polysilicon and LTO $SiO_2$. The basic idea of this structure is that external force exerts on freestanding end of...

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저자 신진현
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 전기및전자공학과
지도교수 윤의식,Yoon, Eui-Sik
발행년도 1998
총페이지 57 p.
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10508422&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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