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학위논문 상세정보

Silicon Wafer 의 불순물 및 함량 측정

Identification of unknown impurity species and concentrations in some silicon wafers


Bae, Yoon (한국과학기술원 물리학과 국내석사)
초록

Silicon Wafer 에 대하여 Hall 효과를 실험하여 함유된 미지의 불순물성분을 식별해 내려는 시도를 하였다. $77\,^\circ\!K-300\,^\circ\!K$ 의 온도 영역에서 측정한 자료를 일차적인 근사 이론과 이미 발표된 다른 유사한 실험적 사실들로 부터 구한 수정량을 적용하여 분석함으로써 다음과 같은 결과를 얻었다. P 형 시료에 대해서는 boron 이 약 $(7.0 \pm 0.1) \times 10^{17} atoms/cm^3$의 밀도로 doping 된 것으로 측정 되었고, N형 시료에 대해서는 불순물 밀도가 ...

Abstract

An attempt has been made to identify the unknown impurity species doped in silicon wafers by use of the Hall effect experiments. The measurements in the temperature range from 77$^\circ$K to 300$^\circ$K were analysed in the first approximation theory with proper correction terms provided by a caref...

주제어

#Semiconductor wafers Contamination (Technology) 웨이퍼 (IC) 규소 불순물 (잡물) Silicon;

참고문헌 (0)

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이 논문을 인용한 문헌 (0)

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저자 Bae, Yoon
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 물리학과
발행년도 1975
총페이지 [ii], 35 p.
키워드 Semiconductor wafers Contamination (Technology) 웨이퍼 (IC) 규소 불순물 (잡물) Silicon
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10509433&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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