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NTIS 바로가기Silicon Wafer 에 대하여 Hall 효과를 실험하여 함유된 미지의 불순물성분을 식별해 내려는 시도를 하였다. $77\,^\circ\!K-300\,^\circ\!K$ 의 온도 영역에서 측정한 자료를 일차적인 근사 이론과 이미 발표된 다른 유사한 실험적 사실들로 부터 구한 수정량을 적용하여 분석함으로써 다음과 같은 결과를 얻었다. P 형 시료에 대해서는 boron<...
An attempt has been made to identify the unknown impurity species doped in silicon wafers by use of the Hall effect experiments. The measurements in the temperature range from 77$^\circ$K to 300$^\circ$K were analysed in the first approximation theory with proper correction terms provided by a caref...
저자 | Bae, Yoon |
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학위수여기관 | 한국과학기술원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리학과 |
발행연도 | 1975 |
총페이지 | [ii], 35 p. |
키워드 | Semiconductor wafers Contamination (Technology) 웨이퍼 (IC) 규소 불순물 (잡물) Silicon |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T10509433&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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