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학위논문 상세정보

얇고 평활한 PZT 나노박막의 제조와 특성 분석

Fabrication and characterization of thin and smooth PZT nano films


송한욱 (한국과학기술원 재료공학과 국내박사)
Abstract

Recently, there have been many researches for nano-storage device using PZT thin films. From previous study, we knew that the stable bit size was similar to the film thickness and PZT thin film had the thickness lower than 100nm and excellent properties such as ferroelectricity, piezoelectricity and...

주제어

#Nano film Surface roughness Degradation of properties Piezoelectric property 나노박막 PZT 표면 거칠기 특성 열화 압전성;

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저자 송한욱
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내박사
학과 재료공학과
지도교수 노광수,No, Kwangsoo
발행년도 2002
총페이지 ix, 155 p.
키워드 Nano film Surface roughness Degradation of properties Piezoelectric property 나노박막 PZT 표면 거칠기 특성 열화 압전성
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10509434&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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