$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

학위논문 상세정보

펄스 레디저 조사에 의한 비정질 실리콘 박막의 재결정화에 관한 연구

A study on the recrystallization of amorphous silicon thin film by the pulsed-laser irradiation


맹성렬 (한국과학기술원 신소재공학과 국내석사)
Abstract

Pulsed-laser crystallized poly-Si films typically have small grain size less than 100nm. This is because the solidification velocity during excimer laser annealing is extremely high. However, recent studies demonstrate that large-grain size poly-Si film can be obtained at specific energy and shot de...

참고문헌 (0)

  1. 이 논문의 참고문헌 없음

이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음
저자 맹성렬
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 신소재공학과
지도교수 Jeon, Duk-Young
발행년도 1995
총페이지 viii, 63 p.
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10509501&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
상세조회 0건 원문조회 0건

DOI 인용 스타일