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학위논문 상세정보

AI박막의 레이저 유기 에칭에 관한 연구

Laser induced etching of Al thin film


Ahn, Chang-Nam (한국과학기술원 물리학과 국내석사)
Abstract

Laser-induced chemical etching of Al thin film is investigated. The process is based upon moderate local heating by tightly focused $Ar^+$ laser beam to activate an etching reaction in mixtures of phosphoric acid and nitric acid. The etching rates of Al thin film of the function of the incident lase...

주제어

#Thin films Laser lithography 알루미늄 박막 에칭 레이저 응용 Aluminum;

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저자 Ahn, Chang-Nam
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 물리학과
발행년도 1988
총페이지 [iii], 71 p. : 삽
키워드 Thin films Laser lithography 알루미늄 박막 에칭 레이저 응용 Aluminum
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10509612&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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DOI 인용 스타일