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학위논문 상세정보

플라즈마화학기상증착법을 이용한 중성자 검출기용 보론카바이드 박막 증착 연구

Study of Boron Carbide Thin Film Deposition for Neutron Detector by RECVD


연대흠 (고려대학교 대학원 재료공학과 국내석사)
초록

보론은 내화물 반도체-보론 카바이드를 형성할 수 있다는 점에서 중성자 포착에 효과적인 여러 가지 원소 중에서도 독특하다. 보론은 오랫동안 중성자 검출 반도체 소자, 신틸레이터를 이용한 중성자 검출기의 중성자 포획 원소, 수 퍼센트의 중성자 검출 효율을 가진 다이오드의 conversion layer에 쓰여 왔다. 보론을 더 효율적인, 완전 고체상인 중성자 검출기에 사용하도록 개발하는데 있어서의 난점은, 안정적인 보론이 풍부한 반도체 재료와 다이오드를 개발해야하는 문제점이었다. 그러한 소자는 여러 가지 척박한 환경에 적용할 수 있어야 ...

Abstract

Boron is unique amongst the most efficient elements for neutron capture in that it is also able to form a refractory semiconductor - boron carbide. Boron has long been used as a dopant in neutron detecting semiconductor devices, as the neutron capture element in scintillator - based neutron detector...

참고문헌 (0)

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저자 연대흠
학위수여기관 고려대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 재료공학과
지도교수 변동진
발행년도 2006
총페이지 viii, 67 p.
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10510426&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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