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학위논문 상세정보

코스퍼터링 TiSi₂ 박막의 상변태(C49→C54)와 응력해석

Phase transformation (C49→C54) of TiSi₂ Co-Sputtered thin film and stress analysis


김종환 (한국과학기술원 재료공학과 국내석사)
Abstract

The influence of heat treatment and of different deposition paramaters on the phase transformation of $TiSi_2$ thin film has been investigated. And stress variations during C49 and C54 phase transformation were measured and analysed. Ti and Si were cosputtered onto a $Si$ substrate, using alloy targ...

주제어

#Cosputtering Transformation temperature Stress Sheet resistance 코스퍼터링 타이타늄실리사이드 변태 온도 응력 면저항;

참고문헌 (0)

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이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음
저자 김종환
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 재료공학과
지도교수 박중근,Park, Joong-Keun
발행년도 1996
총페이지 ⅳ, 64p.
키워드 Cosputtering Transformation temperature Stress Sheet resistance 코스퍼터링 타이타늄실리사이드 변태 온도 응력 면저항
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10512292&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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