$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

학위논문 상세정보

회전 검광자형 타원편광분석기의 자동 정렬 및 에러 보상

Automatic Alignment and Error Compensation in Rotating Analyzer Ellipsometer


Park, Sung Lim (한국과학기술원 기계공학전공 국내박사)
초록

본 논문에서는 정밀기계설계의 원리와 광경로 해석을 통하여 새로운 구조의 타원편광분석기가 설계되었고, 부가적인 장치없이 시편을 완벽하게 정열하는 알고리즘이 개발되었다. 또한, 두께가 1nm 에서 600nm까지 바뀔 때 에러들이 측정에 주는 영향을 분석하여 타원편광분석기를 구성하는 요소를 선택하고 에러들을 보상하였다. 편광기와 검광기의 방위각 에러와 소광율뿐만 아니라 입사각 에러를 여러 개의 시편에 대하여 최적으로 보상해주는 방법이 개발되었다. 제작된 타원편광분석기의 측정불확도 계산을 통하여 성능을 알 수 있었다. 높은 반복능과 정밀도...

Abstract

A novel precision structure was developed in an ellipsometer. The kinematic-coupling principle was used to have high repeatability and precision for alignment of incident angle. All 3-D optical paths were modeled with homogeneous transformation matrix (HTM). Geometrical error analysis, that calculat...

주제어

#ellipsometer precision machine design automatic alignment for specimen error compensation standard uncertainty of measurement 타원편광분석기 정밀 기계 설계 시편 자동 정렬 에러 보상 표준 측정 불확도;

참고문헌 (0)

  1. 이 논문의 참고문헌 없음

이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음
저자 Park, Sung Lim
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내박사
학과 기계공학전공
지도교수 권대갑,Gweon, Dae-Gab
발행년도 2002
총페이지 xiv, 186 p.
키워드 ellipsometer precision machine design automatic alignment for specimen error compensation standard uncertainty of measurement 타원편광분석기 정밀 기계 설계 시편 자동 정렬 에러 보상 표준 측정 불확도
언어 eng
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10512747&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
상세조회 0건 원문조회 0건

DOI 인용 스타일