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학위논문 상세정보

이온빔 산화와 열 산화에 의해 형성된 Si(001)-SiO$_2$계면의 구조

The structure of the Si(001)-SiO$_2$ interface formed by ion beam oxidation and thermal oxidation


김영필 (한국과학기술원 재료공학과 국내박사)
Abstract

The structure of the Si(001)-SiO$_2$ interface formed by ion beam oxidation and thermal oxidation was studied with high resolution transmission electron microscopy(HRTEM) and medium energy ion scattering(MEIS) spectroscopy. In spite of much research for years of decades, the understanding on the str...

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저자 김영필
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내박사
학과 재료공학과
지도교수 최시경,Choi, Si-Kyoung
발행년도 1998
총페이지 iv, 109 p.
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10514298&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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