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NTIS 바로가기저유전율 박막 제조를 위해서 2.45GHz 마이크로파를 이용한 황 방전을 일으켰다. 황방전은 수백토르의 아르곤 가스와 수밀리그램의 황가루를 넣고 밀봉한 수정구에서 이루어졌다. 스펙트럼 ...
Microwave induced sulfur discharge was generated by 2.45GHz microwave generator for low dielectric material processing. Sulfur discharge was generated in a quartz ball which sealed with a few sulfur powder and hundred militorr argon buffer gas. The measurement of optical spectrum was found that the ...
저자 | 정원봉 |
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학위수여기관 | 한국과학기술원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리학과 |
지도교수 | 장홍영,Chang, Hong Young |
발행연도 | 2002 |
총페이지 | 35 p. |
키워드 | uv, low dielectric, sulfur discharge, microwave 자외선, 저유전율, 황 방전, 마이크로파 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T10515000&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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