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학위논문 상세정보

저유전율 박막 제조 공정을 위한 자외선 소스의 개발

Development of UV Source for Low Dielectric Material Processing


정원봉 (한국과학기술원 물리학과 국내석사)
초록

저유전율 박막 제조를 위해서 2.45GHz 마이크로파를 이용한 황 방전을 일으켰다. 황방전은 수백토르의 아르곤 가스와 수밀리그램의 황가루를 넣고 밀봉한 수정구에서 이루어졌다. 스펙트럼 측정결과 대부분의 광방출이 자외선 영역에서 이루어짐을 발견했다. 이런한 결과들로부터 황방전의 특성에 대해 논의 한다....

Abstract

Microwave induced sulfur discharge was generated by 2.45GHz microwave generator for low dielectric material processing. Sulfur discharge was generated in a quartz ball which sealed with a few sulfur powder and hundred militorr argon buffer gas. The measurement of optical spectrum was found that the ...

주제어

#uv, low dielectric, sulfur discharge, microwave 자외선, 저유전율, 황 방전, 마이크로파;

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저자 정원봉
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 물리학과
지도교수 장홍영,Chang, Hong Young
발행년도 2002
총페이지 35 p.
키워드 uv, low dielectric, sulfur discharge, microwave 자외선, 저유전율, 황 방전, 마이크로파
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10515000&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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