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NTIS 바로가기Hydrogen doped zinc oxide films were prepared on glass substrate by using rf reactive magnetron sputtering method and the films were annealed in vacuum furnace. The reactive sputtering was carried out at the atmosphere of argon, oxygen and hydrogen. The gas composition of hydrogen was changed from 0...
저자 | 강윤선 |
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학위수여기관 | 한국과학기술원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 재료공학과 |
지도교수 | 이재영,Lee, Jai-Young |
발행연도 | 1998 |
총페이지 | 74 p. |
키워드 | Hydrogen Zinc oxide Sputtering Electrical conductivity Optical transmittance 수소 산화아연 스퍼터링 전기전도도 광투과율 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T10516021&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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