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학위논문 상세정보

수소첨가에 의한 ZnO 박막의 전도성과 투과율 향상에 관한 연구

A study on the enhancement of conductivity and transmittance of zinc oxide thin films by hydrogen addition


강윤선 (한국과학기술원 재료공학과 국내석사)
Abstract

Hydrogen doped zinc oxide films were prepared on glass substrate by using rf reactive magnetron sputtering method and the films were annealed in vacuum furnace. The reactive sputtering was carried out at the atmosphere of argon, oxygen and hydrogen. The gas composition of hydrogen was changed from 0...

주제어

#Hydrogen Zinc oxide Sputtering Electrical conductivity Optical transmittance 수소 산화아연 스퍼터링 전기전도도 광투과율;

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이 논문을 인용한 문헌 (0)

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저자 강윤선
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 재료공학과
지도교수 이재영,Lee, Jai-Young
발행년도 1998
총페이지 74 p.
키워드 Hydrogen Zinc oxide Sputtering Electrical conductivity Optical transmittance 수소 산화아연 스퍼터링 전기전도도 광투과율
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10516021&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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