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NTIS 바로가기본 논문은 재투입(reentrant) 특성을 가지는 반도체 생산 공정에서 생산 투입량 결정을 연구한 논문이다. 특히, 반도체 생산 공정 중 주요 병목 공정인 사진 공정의 스테퍼(stepper)에서 작업될 웨이퍼의 종류와 양을 결정하는 수리적 모델을 제시하고 있다. 이렇게 제시된 MIP모델은 공정 중에 발생하는 셋업 시간을 고려하여 실제 재공재고량이 목표 재공재고량과 같아지게 하는 것을 목표로 한다. 목적식은 실제 재공재고와 목표 재공재고의 차이와 셋업 시간의 합으로 구성되어 있으므로 두 요소에 대한 가중치를 달리해 비율테스트(ratio test)를 실시하였다. 실험은 OPL studio를 이용해 진행 되었다. 또한 본 논문은 MIP를 푸는데 소요되는 계산 시간이 너무 긴 문제를 해결하기 위한 세 가지 ...
This paper mainly deals with the problem determining workloads in a semiconductor fabrication line. A mathematical model is proposed to determine the amount and type of wafers which will be processed on equipment used in photolithography process. Photolithography process is main bottleneck process i...
저자 | 김세정 |
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학위수여기관 | 한국과학기술원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 산업공학과 |
발행연도 | 2005 |
총페이지 | i, 41p. |
키워드 | 재공재고 반도체 생산 셋업 시간 발견적 기법 선형계획법 정수계획법 |
언어 | eng |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T10643198&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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