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NTIS 바로가기Systems including devices are miniature as the technology develops. The interfacial effect becomes important in determining the physical properties as the size of systems decreases. Yttrium oxide (Y2O3) is a suitable material for a metal/insulator/semiconductor structure due to its particular physic...
저자 | 박건형 |
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학위수여기관 | 부산대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리학과 |
발행연도 | 2006 |
총페이지 | iv, 77장 |
키워드 | 3 omega 방법 열전도도 RF 마그네트론 스퍼터링 경계면 열저항 Yttrium Oxide thin film |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T10659174&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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