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학위논문 상세정보

산소 유량비 변화에 따른 Al-doped ZnO 박막의 구조 및 광학특성

Structure and Optical properties of the Al-doped ZnO Thin Films Subjected to the Ratio of Oxygen


황동현 (부산대학교 대학교 재료공학과 국내석사)
Abstract

Al-doped ZnO (AZO) thin films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering. Sputtering was carried out at substrate temperature of 400 ℃ with various O₂/Ar flow ratio. The effects of O₂/Ar flow ratio on AZO thin films were investigated using the X-ray diffraction (XRD),...

주제어

#산소 유량비;Al-doped ZnO 박막;미세구조;박막증착;스퍼터링법;

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저자 황동현
학위수여기관 부산대학교 대학교
학위구분 국내석사
학과 재료공학과
지도교수 손영국
발행년도 2007
총페이지 80 p.
키워드 산소 유량비, Al-doped ZnO 박막, 미세구조, 박막증착, 스퍼터링법
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T11114319&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

DOI 인용 스타일