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현재 유기전계발광디스플레이(Organic Light Emitting Display : OLED) 공정에서 많은 부분을 차지하는 열 증착법을 사용할 시 증발원의 온도가 기판 온도에까지 영향을 미쳐 유기막에 영향을 줄 수 있다. 유기막은 열에 의해 Damage를 받게 되면 비발광 영역을 생성하고 소자 효율이 떨어지기 때문에 기판 온도에 따른 유기박막과 OLED 소자의 변화를 알아보고자 하였다. 본 연구에서는 Tris (8-Hydroxyquinoline) ...

현재 유기전계발광디스플레이(Organic Light Emitting Display : OLED) 공정에서 많은 부분을 차지하는 열 증착법을 사용할 시 증발원의 온도가 기판 온도에까지 영향을 미쳐 유기막에 영향을 줄 수 있다. 유기막은 열에 의해 Damage를 받게 되면 비발광 영역을 생성하고 소자 효율이 떨어지기 때문에 기판 온도에 따른 유기박막과 OLED 소자의 변화를 알아보고자 하였다. 본 연구에서는 Tris (8-Hydroxyquinoline) Aluminum (Alq3) 박막을 사용하여 증착 온도와 증착 후 온도에 따른 박막의 변화를 관찰하여 열 증착법의 효율을 높이고자 하였다. 증착 온도와 증착 후 온도를 변화에 따른 박막의 변화를 PL(Photo Luminescence) 스펙트럼과 X선 회절(X-Ray Diffraction : XRD)을 통해 확인하였다. 증착 시 기판 온도에 따른 유기박막의 변화는 PL 스펙트럼의 peak가 최대 17 nm 차이를 보였으며, 기판온도가 증가함에 따라 단파장 쪽으로 이동되었다. 증착 후 기판의 온도를 변화시켰을 때는 PL 스펙트럼의 peak가 최대 2 nm 밖에 차이가 없었으며, 기판온도가 증가함에 따라 장파장 쪽으로 이동되는 모습을 보였다. 하지만 증착 후 기판온도의 변화보다 증착 시 기판온도의 변화가 많은 변화를 가져왔다. 증착 시 기판온도에 따른 박막의 변화를 자세히 알아보기 위해 XRD를 측정하여 기판 온도에 따라서 비결정 상태에서 작지만 결정화의 변화가 나타나는 걸 확인하였다. 또한 EML 증착 시 기판온도를 변화시켜 제작한 OLED 소자는 기판 온도가 상승할수록 I-V-L 특성은 좋아졌고 수명은 감소하는 모습이 관찰되었다. 하지만 특성이 일관된 모습이 아니었기 때문에 원인을 분석해 보았다. 그 결과 기판온도가 상승할수록 유기물의 두께가 얇게 증착된 현상을 확인하여 각각의 기판온도에 설정 두께를 두껍게 하여 기판온도가 올라가도 증착된 유기물 두께는 같게 해주었다. 두께가 같은 RT와 50℃에서 제작된 OLED 소자의 특성을 비교해보면 I-V-L 특성은 비슷해지는 걸 볼 수 있었으나 수명은 여전히 감소하는 모습이 관찰되었다. 또한 증발원과 기판의 거리에 따른 OLED 소자특성을 알아보는 실험에서는 거리가 가까워질수록 I-V-L 특성은 나빠지는 것으로 관찰되었으며 앞선 실험과 마찬가지로 EML의 두께를 측정해본 결과 거리가 가까워질수록 EML의 두께가 두꺼워지는 모습을 확인하였다. 따라서 EML의 두께를 설정 값으로 증착되도록 두께를 얇게 세팅하고 OLED 소자를 제작하였다. 증발원과 기판사이의 거리가 20 cm일 때와 35 cm일 때 EML의 두께가 같게 해준 다음 비교해 본 결과 I-V-L 특성은 비슷한 모습이 관찰되었으나 수명 특성은 증발원과 기판 사이의 거리가 멀어질수록 떨어지는 모습이 관찰되었다.

Abstract ▼ AI-Helper

Currently, organic films can be damaged because source temperature influences substrate condition in case of the thermal evaporation OLED process. And so we experimented to observe changes in organic films and OLED device according to substrate temperatures. We proceeded this experiment to obtain th...

Currently, organic films can be damaged because source temperature influences substrate condition in case of the thermal evaporation OLED process. And so we experimented to observe changes in organic films and OLED device according to substrate temperatures. We proceeded this experiment to obtain the stability and reproducibility of organic films. In this research, we tried to observe changes in thin films due to temperature-after-evaporation and evaporation temperature and to enhance efficiency of heat evaporations using tris (8-hydroxyquinolines) aluminum (Alq3) thin film. PL spectrum and XRD show that thin films were changed with changes in temperature-after-evaporation and evaporation temperature. We observe that the change of the crystallization appears, consequently in 10~20 θ vicinities at a substrate temperature. In the experiment to OLED device characteristics according to the height between the source and substrate, if the height comes lower, the I-V-L characteristics get worse.