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피코초 레이저를 이용한 평판디스플레이용 유리기판의 가공특성

Picosecond laser micromachining of glass substrates for flat panel displays


허정우 (한양대학교 대학원 기계설계·메카트로닉스과 국내석사)

초록
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기존에 정밀미세가공에서 많이 사용하는 나노초 레이저 기술은 그 동안 수많은 실험과 결과로 인해 많은 발전을 이루었다. 특히 Nd:YAG를 매질로 사용하는 나노초 기술은 기존 CO2 레이저보다 초점깊이와 초점크기에 있어서 10배나 더 우수한 장점을 가지고 있어 정밀미세 가공에 많이 사용되었다. 하지만 나노초 레이저가 가지는 큰 단점인 HAZ로 인해 정밀미세가공에 한계가 보였다. 이 HAZ란 Heat Affected Zone을 뜻하는데 특히, 디스플레이용 유리 기판 절단에서는 HAZ에 의한 영향 및 Crack에 민감하여 정밀 디스플레이용 유리 기판 절단 가공에서 나노초 레이저를 사용하여 발표한 연구결과는 있었지만 실제로 산업현장에서 쓰이는 경우는 많지 않았다. 이 HAZ의 영향을 받지 않기 위해서는 열 영향을 받기 전에 가공이 될 수 있는 극초단 ...

주제어

#기계공학 

학위논문 정보

저자 허정우
학위수여기관 한양대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 기계설계·메카트로닉스과
발행연도 2010
총페이지 vi, 55 p.
키워드 기계공학
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T11938742&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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