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NTIS 바로가기기존에 정밀미세가공에서 많이 사용하는 나노초 레이저 기술은 그 동안 수많은 실험과 결과로 인해 많은 발전을 이루었다. 특히 Nd:YAG를 매질로 사용하는 나노초 기술은 기존 CO2 레이저보다 초점깊이와 초점크기에 있어서 10배나 더 우수한 장점을 가지고 있어 정밀미세 가공에 많이 사용되었다. 하지만 나노초 레이저가 가지는 큰 단점인 HAZ로 인해 정밀미세가공에 한계가 보였다. 이 HAZ란 Heat Affected Zone을 뜻하는데 특히, 디스플레이용 유리 기판 절단에서는 HAZ에 의한 영향 및 Crack에 민감하여 정밀 디스플레이용 유리 기판 절단 가공에서 나노초 레이저를 사용하여 발표한 연구결과는 있었지만 실제로 산업현장에서 쓰이는 경우는 많지 않았다. 이 HAZ의 영향을 받지 않기 위해서는 열 영향을 받기 전에 가공이 될 수 있는 극초단 ...
저자 | 허정우 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계설계·메카트로닉스과 |
발행연도 | 2010 |
총페이지 | vi, 55 p. |
키워드 | 기계공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11938742&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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