$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

학위논문 상세정보

초크랄스키(CZ) 공정에서 저비용, 고품질 잉곳 생산을 위한 산소농도 및 계면최적화 연구

Study of Oxygen Concentration and Interface Optimization in Czochralski Process for Production of Low-Cost, High-Quality Ingot


정유진 (영남대학교 대학원 화학공학 공정최적화 국내석사)
초록

최근 산업에서는 초크랄스키 공정에서의 생산성 향상 및 생산단가 절감을 통한 저가, 고품질의 잉곳(ingot) 생산을 위한 최적설계가 요구되고 있다. 고품질의 웨이퍼를 생산하기 위해서는 결정 결함 제어가 중요하다. 단결정(Single crystal)의 결정결함에 영향을 미치는 불순물 중 산소는 가장 중요한 요소 중 하나이다. 산소는 용기로 사용되고 있는 석영 도가니에서 녹아 들어가기 때문에 다른 첨가 원소나 불순물 보다 훨씬 많은 양이 결정 내로 혼입되어 냉각과정에서 석출되면서 여러 결함의 원인으로 작용하기 때문에 산소 농도의 조절은...

주제어

#초크랄스키 단결정 단결정실리콘 실리콘잉곳 산소 불순물 고품질;

참고문헌 (0)

  1. 이 논문의 참고문헌 없음

이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음
저자 정유진
학위수여기관 영남대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 화학공학 공정최적화
지도교수 정재학
발행년도 2014
키워드 초크랄스키 단결정 단결정실리콘 실리콘잉곳 산소 불순물 고품질
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T13482001&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

DOI 인용 스타일