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NTIS 바로가기본 연구는 레이저 간섭 리소그래피를 이용하여 금속 2차원 dot 패턴을 형성하고 이 패턴이 광학 투과율에 미치는 영향에 대해 알아보았다. 레이저 간섭 리소그래피 시스템은 532㎚ 레이저와 frequency doubling 장치를 이용하여 만든 266㎚의 파장이 사용되었다. 간섭계는 로이드 ...
저자 | 황보람 |
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학위수여기관 | 한국산업기술대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 나노-광공학과 |
지도교수 | 김창규 |
발행연도 | 2014 |
총페이지 | 47 p. |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13529252&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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