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학위논문 상세정보

플라즈마 개질 처리된 ITO 박막 표면의 전기적 특성


채홍철 (충북대학교 재료공학과(원) 국내박사)
Abstract

The electrical, electronic and optical properties of plasma surface treatment Indium Tin Oxide (ITO) thin films on glass substrates were investigated using reflection electron energy loss spectroscopy (REELS), ultraviolet photoelectron spectroscopy (UPS), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and a...

주제어

#ITO XPS REELS UPS Plasma Treatment;

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저자 채홍철
학위수여기관 충북대학교
학위구분 국내박사
학과 재료공학과(원)
발행년도 2014
총페이지 xii, 108 p.
키워드 ITO XPS REELS UPS Plasma Treatment
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T13556197&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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