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학위논문 상세정보

반도체 통신 프로토콜 EDA 표준에 기반한 설비 자료 수집 시뮬레이션

The Equipment Data Gathering Simulation Based on EDA Standards Protocol


정성훈 (한양대학교 전자컴퓨터통신공학과 국내석사)
초록

반도체 설비의 구조와 공정기술 복잡성의 증가로 장비 구조에 대한 데이터화 요구가 증가하고 있다. 설비 문제가 발생할 것에 대비한 추적 및 예측 기능 강화 요구의 증가가 대표적이며 설비 데이터를 활용한 장비 상태 모니터, 장비 가동률 추적 등 다양한 활동을 할 수 있는 영역이 마련되고 있다. 새로운 반도체 통신 프로토콜인 EDA 표준의 제정으로 더욱더 정확한 설비 데이터를 통한 장비 성능, 공정 수율, 품질 등의 향상이 가능하다. EDA 프로토콜에 의한 데이터는 기존의 SECS에서 사용하는 포트와 구분된 TCP/IP상의 HTTP을 통...

주제어

#EDA;

저자 정성훈
학위수여기관 한양대학교
학위구분 국내석사
학과 전자컴퓨터통신공학과
지도교수 정제명
발행년도 2015
키워드 EDA
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T13667251&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

DOI 인용 스타일

"" 핵심어 질의응답