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NTIS 바로가기본 논문에서는 현재 투명전극의 재료로 널리 사용되고 있는 ITO의 단점을 극복할 차세대 투명박막과 소자적용을 위한 레이저 직접 식각 방법으로 연구를 진행하였다. 연구에 사용한 박막은 매장량이 풍부하여 값이 저렴한 ZnO에 알루미늄을 도핑한 AZO를 선택하였으며 ITO비해 부족한 ...
A Study on the Laser ablation of AZO/Ag/AZO Transparent Layers and its Application to Device Jae Seok Heo Advised by Prof. Eou Sik Cho Dept. of Electrical & Electronic Graduate Sch...
저자 | 허재석 |
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학위수여기관 | 가천대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | IT융합공학과 전자공학 |
지도교수 | 조의식 |
발행연도 | 2016 |
키워드 | Aluminum doped zinc oxide(AZO), Ag, 스퍼터, 레이저 식각, the ablation threshold fluence, Фth |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14005962&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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