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학위논문 상세정보

단결정 실리콘 잉곳 제조용 석영도가니의 실투에 대한 연구

Study on the Devitrification of Quartz Crucible for the Preparation of Single Crystal Silicon Ingot


임종원 (안동대학교 대학원 재료공학과 세라믹재료전공 국내석사)
초록

쵸크랄스키법을 이용한 단결정 실리콘 잉곳 제조에 사용되는 폴리실리콘을 용융하는 용기로 석영도가니를 사용하게 된다. 석영도가니는 외부 층과 내부 층으로 나뉘며, 외부는 기포가 많고 불투명하고 내부는 투명하다. 실리콘 단결정의 균일한 성장을 위해서는 석영도가니의 내부 표면이 매우 중요하다. 내부 표면의 오염으로 도가니의 표면에 실투가 일어나며, 핵을 형성하여 크리스토발라이트 결정이 생성된다. 부분적으로 생성된 크리스토발라이트 결정은 언더컷 되어 실리콘 융액에 방출되면서 전위를 형성하게 된다. 결국 실리콘 단결정 성장이 멈추게 된다. <...

Abstract

Single-crystal silicon ingots for solar-cells are produced from polycrystalline silicon according to a Czochralski method using a quartz glass crucible. A quartz crucible is divided into inner and an outer layer. The outside of quartz crucible is opaque and has many air bubbles. The inside one is a ...

주제어

#Devitrification Quartz Crucible Air Spray;

저자 임종원
학위수여기관 안동대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 재료공학과 세라믹재료전공
지도교수 박경봉
발행년도 2016
총페이지 48
키워드 Devitrification Quartz Crucible Air Spray
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T14158071&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

DOI 인용 스타일

"" 핵심어 질의응답