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NTIS 바로가기레이저 간섭 리소그래피는 마스크/몰드가 필요 없으며 대면적의 균일한 나노패턴 제작이 가능하고 장비의 낮은 비용과 높은 생산성, 기판 선택의 자유로움이 있다. 또한 공정의 단순함과 빠른 공정시간은 소자의 고효율화 및 저가화에 기여하고 다양한 소재의 나노구조 개발에 적합한 기술이다. 본 연구에서는 레이저 간섭 리소그래피 방법을 이용하여 Al-2D ...
저자 | 남병현 |
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학위수여기관 | 한밭대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계공학과 기계공학 |
지도교수 | 최진일 |
발행연도 | 2018 |
총페이지 | 79 |
키워드 | laser interference lithography nanopattern surface plasmon resonance structural analysis |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14751521&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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