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논문 상세정보
$Co_{73}Cr_{27}$ 씨앗층이 CoCr 박막의 결정배향성 및 미세구조에 미치는 영향
Effect of $Co_{73}Cr_{27}$ Seed Layer on the Crystalline Alignment and Microstructure in CoCr Thin Films
韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society
v.3 no.1
, 1994년, pp.45 - 50
초록
CoCr 박막에 있어서 C축 결정배향성과 미세구조 변화에 대한 Co73Cr27 씨앗층의 영향이 조사되 었다. 기록밀도가 높고 재생전압도 높은 CoCr 수직기록매체를 개발하기 위해서는 CoCr층의 두께가 엷 으면서 결정배향성이 우수하고 결정립 크기가 적고 균일한 자성기록막 제조가 필요하다. CoCr 단층막 또는 CoCr/퍼말로이 이중막 제조에서 500
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