[논문]이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성개선

김정선; 여환욱; 박종윤

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이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성개선
The Improvement in Pumping Characteristics of Sputter Ion Pumps in the Ultra High Vacuum(UHV) Region 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.3 no.4, 1994년, pp.401 - 404

김정선 (성균관대학교 물리학과) , 여환욱 (성균관대학교 물리학과) , 박종윤 (성균관대학교 물리학과)

초록
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초고 진공영역에서 배기특성 개선을 위하여 재질 및 구조가 다른 세가지 형태의 60(l/s) 형이온 펌프를 제작하여 그 배기특성을 측정하였다. 그 결과 음극판에 Ta 선을 전기용접한 펌프와 양극 cell의 구조에 변화를 준 펌프의 배기속도가 상용으로 이용되고 있는 펌프에 비해 약 50% 이상 개선되었다.

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