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논문 상세정보

Abstract

Diamond deposition by muti-cathode DC PACVD has been investigated. Five cathodes were independently connected to their own DC power supplies. The voltage and current of each cathods were varied up to 700 V and 3.5 A, respectively. The plasma formation and the diamond deposition behaviour on a substrate of 3 inch in diameter were investigated by optical emission spectroscopy, SEM and Raman spectroscopy. The plasma formed by five cathodes was non-uniform, which was depended on the geometry of cathods array. The growth rate and the quality of diamond film were closely related to the spatial distribution of the plasma.

참고문헌 (8)

  1. J.-K. Lee;W.-S. Lee;Y,-J. Baik;K. Y. Eun , Korean Inst. Met. Mater. / v.32,pp.742, 1994
  2. J.-k. Lee;Y.-J. Baik;K. Y. Eun , Patent application No 08/458, 761 (USA) / v.,pp., 0000
  3. J.-k. Lee;Y.-J. Baik;K. Y. Eun , unpublished work / v.,pp., 1996
  4. S. Matsumoto;Y. Sato;M. Kamo;N. Setaka , Jpn. J. Appl. Phys. / v.21,pp.219, 1982
  5. Y.-J. Baik;K. Y. Eun , Thin Solid Film / v.214,pp.123-131, 1992
  6. M. Kamo;Y. Sato;S. Matsumoto;N. Setaka , J. Cryst. Growth / v.62,pp.642, 1983
  7. J.-k. Lee;Y.-J. Baik;K. Y. Eun , Materals Science and Engineering / v.A209,pp.399-404, 1996
  8. K. Suzuki;A. Sawabe;T. Inuzuka , Jpn. J. Appl. Phys. / v.29,pp.153-157, 1990

이 논문을 인용한 문헌 (1)

  1. 2001. "Properties of a free-standing diamond wafer deposited by the multi-cathode direct current plasma assisted CVD method" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, 10(3): 356~360 

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