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논문 상세정보

Thermal Properties of Diamond Films Deposited by Chemical Vapor Depositon

The Korean journal of ceramics v.3 no.1 , 1997년, pp.29 - 33  
Abstract

Four diamond films were deposited by the microwave plasma assisted chemical vapor deposition method varying CH4 concentration from 2.5 to 10% in the feeding gases. Thermal conductivity was measured on these free standing films by the steady state method from 80 K to 400K. They showed higher thermal conductivity as the film deposited with lower methane concentration. One exception, 7.79% methane concentration deposited film, was observed to be the highest thermal conductivity. Phonon scattering processes were considered to analyze the thermal conductivity with the full Callaway model. The grain size and the concentration of the extended and the point defects were used as the fitting parameters. Microstructure of diamond films was investigated with the scanning electron microscopy and Raman spectroscopy.

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참고문헌 (21)

  1. R. Berman;P. R. W. Hudson;M. Martinez , J. Phys. / v.C8,pp.L430, 1975
  2. C. Gu;C. W. Jin;G. Zou;M. Yoshikawa(ed.)m. Murakawa(ed.)Y. Tzeng;W. A. Yarbrough , 2nd international Conference on the Application of Diamond Films and Related Materials / v.,pp., 1993
  3. H. B. Chae;Y. J. Han;D. J. Seong;J. C. Kim;Y. J. Baik , J. Appl. Phys. / v.78,pp., 1995
  4. J. E. Graebner;M. E. Reiss;L. Seibles;T. M. Hartnett;R. P. Miller;C. J. Robinson , Phys. Rev. / v.B50,pp.3702, 1994
  5. D. T. Morelli;C. P. Beetz;T. A. Perry , Appl. Phys. Lett. / v.59,pp.2112, 1991
  6. G. Simmons;H. Wang , Single Crystal Elastic Constants and Aggregate constants / v.,pp., 1971
  7. J. E. Field , Properties of Diamond / v.,pp., 1979
  8. D. T. Morelli;P. A. Thrower(ed.) , Thermal Conductivity of Diamond / v.24,pp., 1994
  9. J. R. olson;R. O. pohl;J. W. Vandersande;a. Zoltan;T. R. Anthony;W. F. Banhozer , Phys. Rev. / v.B47,pp.14850, 1993
  10. R. Berman , Thermal Conduction in Solids, Oxford University / v.,pp., 1976
  11. J. E. Graebner;J. A. Mucha;L. Seibles;G. W. Kammlott , J. Appl. Phys. / v.71,pp.3143, 1992
  12. D. T. Morelli;C. P. Beetz;T. A. perry , J. Appl. Phys. / v.64,pp.3063, 1988
  13. J. Wilks;E. Wilks , Properties and Applications of Diamond / v.,pp., 1991
  14. K. Baba;Y. Aikawa;N. Shohata , J. Appl. Phys. / v.69,pp.7313, 1991
  15. Proceeding of 1st International Symposium on Diamond and Diamond-like Films , J. A. Herb;C. Bailey;K. V. Ravi;P. A. Danning , Electrochemical Society / v.89,pp.524, 0000
  16. L. Landau;G. Rumer , Phys. Z. Sowjetunion / v.11,pp.8, 1937
  17. A. Ono;T. Baba;H. Funamoto;A. Nishikawa , Jap. J. Appl. Phys. / v.25,pp.L808, 1986
  18. J. E. Graebner;J. A. Herb , Diamond Films and Technology / v.1,pp.155, 1992
  19. J. Callway , Phys. Rev. / v.113,pp.1046, 1959
  20. L. Wei;P. K. Kuo;R. L Thomas;T. R. Anthony;W. F. Banholzer , Phys. Rev. Lett. / v.70,pp.3764, 1993
  21. Chemical and Microstructual Characterization and Properties of Diamond in Synthetic Diamond , W. J. P. Enckevort , Emerging CVD Science and Technology / v.,pp., 1994

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