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논문 상세정보

$NbC_xC_{1-x}/Y_2O_3$ 박막코팅을 이용한 $Al_2O_3/Ti$ 계면특성향상 - (1) 스퍼터링 및 열안정성

Enhanced $Al_2O_3/Ti$ Interfacial Properties Using $NbC_xC_{1-x}/Y_2O_3$ Interlayers - (1) Sputtering and Thermal Stability

Abstract

Multilayer NbCxC1-x/Y2O3/Ti were sputter-coated on the alumina substrate, starting with a 0.7 ㎛ thick NbCxC1-x layer grown on substrate, followed by 0.7 ㎛ thick Y2O3 layer and 1 ㎛ thick Ti layer. To find out the optimum conditions for thickness uniformity and adhesion, sputtering works have been done with the variation of sputtering power and Ar pressure. After vacuum annealing at 950℃ and 1000℃, the thermal stability of the NbCxC1-x/Y2O3/Ti coated alumina substrates has been investigated by peel off test. The coating scheme didn't cause any debonded layer after an annealing at 950℃ for 3hrs. However, it was peeled off after annealing at 1000℃ for 3hr. It was found that the thermal stability of Al2O3/NbCxC1-x/Y2O3/Ti coating scheme changed with the NbCxC1-x composition.

저자의 다른 논문

참고문헌 (14)

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  5. C. McCullough;R.R. Kieschke , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.350,pp.119, 1994
  6. Ajay K. Misra , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.350,pp.73, 1994
  7. J.E.E. Baglin , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.47,pp.3, 1985
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  11. Vijay Gupta;Jun Yuan;Doris martinez , J. Am. Ceram. Soc. / v.76,pp.305, 1993
  12. T. Suzuki;H. Umehara;R. Hayashi , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.350,pp.59, 1994
  13. J.A. DeKock , A Study of the Interfacial Stability of$Ti/Al_2O_3,\;Ti_3Al/Al_2O_3$and $Tial/Al_2O_3$Composite Materials / v.,pp.90, 1995
  14. W. Sachse;H.D. Conway , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.153,pp.249, 1989

이 논문을 인용한 문헌 (1)

  1. 1997. "Enhanced $Al_2O_3/Ti$ Interfacial Properties Using $NbC_x-C_{1-x}/Y_2O_3$ Interlayers-(2) Determination of the Interfacial Properties" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, 34(9): 921~926 

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