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NTIS 바로가기한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, v.8 no.4, 1998년, pp.592 - 598
유병석 (한양대학교 무기재료공학과) , 오근호 (한양대학교 무기재료공학과)
AZO(Aluminum doped Zinc Oxide) thin films were fabricated by reactive DC magnetron sputtering method using zinc metal target (Al 2%) and zinc oxide target (
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