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하부전극층의 두께가 ZnO 압전변환기의 음향대역특성에 미치는 영향
The Effect on Acoustic Band Characteristics of ZnO Piezoelectric Transducer according to Thickness of Counter Electrode Layers 원문보기

電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. TE, 전문기술교육, v.37 no.1, 2000년, pp.18 - 26  

박기엽 (釜山情報大學 電氣電子系列) ,  이종덕 (西南大學校 電氣電子工學部) ,  박순태 (釜山情報大學 電氣電子系列)

초록
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본 논문에서는 광대역 특성을 가진 고주파 압전 변환기를 이론적으로 고찰하였고, 압전변환기를 제작하여 이론값과 실험값을 비교, 분석하여 그 응용가능성을 확인하였다. ZnO(3.825${\mu}m$/Pt/Sapphire(0001)구조의 압전변환기의 공진주파수는 827.47MHz로서 압전체의 반파장주파수에서 공진이 일어남을 알 수 있었다. 또한, 삽입손실은 약 -50dB이었고, 최소의 삽입손실은 이론적인 분석과 잘 일치하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, piezoelectric transducer was theoretically analyzed to fabricate high frequency piezoelectric transducer with broadband characteristics. Piezoelectric transducer have been fabricated with 3.825${\mu}m$ ZnO film on Pt/Sapphire(0001), and its appilicability of transducer was ...

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