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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.10 no.3, 2001년, pp.368 - 373
김일호 (충주대학교 재료공학과) , 박성호(주)가인테크
Pd/Si/Ti/Pt ohmic contact to n-type InGaAs was investigated. As-deposited contact showed non-ohmic behavior, and high specific contact resistivity of
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