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NTIS 바로가기Korea-Australia rheology journal, v.14 no.2, 2002년, pp.71 - 76
Lee, Kwan-Young (Department of Chemical and Biological Engineering Applied Rheology Center, Korea University) , Kim, Hak-Ju (Department of Chemical and Biological Engineering Applied Rheology Center, Korea University) , Lee, Jung-Ho (Samsung Electronics) , Sohn, Il-Hyun (Samsung Electronics) , Hwang, Tae-Jin (Samsung Electronics)
Metal thin films, which are indispensable constituents of ULSI (Ultra Large Scale Integration) circuits, have been fabricated by physical or chemical methods. However, these methods have a drawback of using expensive high vacuum instruments. In this work, the fabrication of tungsten metal film by sp...
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