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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.11 no.2, 2002년, pp.103 - 107
정순원 (청주대학교 전자공학과) , 김광호 (청주대학교 정보통신공학부)
Metal/ferroelectric/semiconductor field effect transistors(MFSFET′s) with various gate electrodes, that are aluminum, platinum and poly-Si, using rapid thermal annealed
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