$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

논문 상세정보

Abstract

$LaF_{3}$ thin films have been fabricated on Si (100) substrates under the highest possible vacuum condition by pulsed laser deposition (PLD) method. The temperature of the sbustrate varied from $20^{\circ}C$ to $800^{\circ}C$. The films deposited at the higher temperature indicated the sharper peaks in the X-ray diffraction measurement. A highly oriented film was successfully obtained at a substrate temperature of $800^{\circ}C$. The surface observation by the AFM revealed that the many hexagonal structures constructed the film. The XPS analysis revealed that the lacking of F in the film deposited at $600^{\circ}C$ were much more than that in film at $^20{\circ}C$. Adding the adequate amount of $CF_{4}$ gas in the growth chamber can compensate this lacking of F.

참고문헌 (14)

  1. The atomic parameters in the lanthanum trifluoride structure , A.Zalkin;D,H,Templeton;T.E.Hopkin , Inorg. Chem / v.5,pp.1466, 1966
  2. Zur kristallstruktur von lanthantrifluorid;Die kristallstruktur von lanthantrifluorid , M.Mansmann , Z. Anorg. Allg. Chem. 221 / v.221;122,pp.98;375, 1964
  3. Uber die kristallstrukiur von tysonit und einigen kunstlich dargestellten lanthanidenfluoriden;Zur Kristallstruktur von Tysonit(Ce, La, ...)F₃ , I.Oftedal , Z. Phys. Chem. B / v.5;13,pp.272;190, 1929
  4. Epitaxial growth of lanthanide triflourides by MBE , S.Sinharoy;R.A.Hoffman;J.H.Rieger;W.J.Takei;R.F.C.Farrow , J. Vac. Sci. Technol. B / v.3,pp.722, 1985
  5. The structure of LaF₃-a single-crystal neutron-diffraction study at room-temperature , D.Gregson;C.R.A.Catlow;A.V.Chadwick;G.H.Lander;A.N.Cormack;B.E.F.Fender , Acta Crystallogr. Sect. B / v.39,pp.687, 1983
  6. Fabrication of Si-gate device in a heteroepitaxial Si/CaF₂/Si structure , H.Onoda;M.Sasaki;T.Kotoh;N.Hirashita , Materials Research Society Symposium Proceedings / v.91,pp.349, 1987
  7. The structure of thin epitaxial LaF₃film on Si(111) , R.Strumpler;D.Guggi;H.Luth , Thin Solid Films / v.198,pp.221, 1991
  8. Epitaxial InP/fluoride/InP(001)double heterostructures grown by molecular beam epitaxy , C.W.Tu;S.R.Forrest;W.D.Johson,Jr , Appl. Phys. Left. / v.43,pp.569, 1983
  9. Fabrication of metal-epitaxial insulator field effect transistor using molecular beam epitaxy of CF₄on Si , T.P.SmithⅢ;J.M.Phillips;W.M.Agustyniak;P.J.Stiles , Appl. Phys. Lett / v.45,pp.907, 1984
  10. On the crystal stucture of fluorides of the tysonite or LaF₃type , K.Schlyter , Ark.Kemi / v.5,pp.113, 1978
  11. MBE-grown fluoride films: A new class of epitaxial dielectrics , R.F.C.Farrow;P.W.Sullivan;G.M.Williams;G.R.Janes;D.G.Cameron , J. Vac. Sci. Technol / v.19,pp.415, 1981
  12. Epitaxialgrowth of elemental semiconductor-films onto silicide/Si and fluoride/Si structures , H. Ishiwara;T.Asano;S.Furukawa , J. Vac. Sci. Technol / v.31,pp.266, 1983
  13. GaAs/(Sa,Sr)F₂/(001)GaAs lattice-matched structures grown by molecular-beam epitaxy , S.Siskos;C.Fontaine;A.Munoz-Yague , Appl. Phys. Left. / v.44,pp.1146, 1984
  14. Nonisomerphic ErF₃layers on Si (111) substrates grown by molecular beam epitaxy , J.M.Ko;S.D.Durbin;T.Fukuda , J. Vac. Sci Tecnol. A / v.18,pp.271, 0000

이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음

원문보기

원문 PDF 다운로드

  • ScienceON :

원문 URL 링크

  • 한국결정성장학회 : 저널
  • Korea Open Access Journals : 저널

원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다. (원문복사서비스 안내 바로 가기)

상세조회 0건 원문조회 0건

DOI 인용 스타일