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NTIS 바로가기電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체, v.40 no.12 = no.318, 2003년, pp.17 - 23
정완영 (동서대학교 인터넷공학부) , 임준우 (대구과학대학 인터넷정보계열) , 이덕동 (경북대학교 전자전기컴퓨터공학부)
서로 다른 동작온도를 가지는 12개의 감지막으로 구성된 고집적형 센서어레이(다이아프램의 크기가 3×5㎟가 설계되고 열동작의 관점에서 최적화되었다. 이 센서어레이는 에칭된 실리콘기판과 접합된 얇은 유리기판 위의 중앙에 하나의 히터가 위치하고 양쪽에 동작온도가 다른 감지박막이 위치하도록 설계됨으로써 개별 마이크로센서 보다 동시에 훨씬 많은 정보를 얻을 수 있는 장점을 가지고 있다. 제안된 마이크로센서 어레이는 다이아프램의 중앙에 하나의 히터만을 가지는 구조를 하고 있기 때문에 고집적 어레이구조를 실현하면서도, 히터를 중심으로 감지박막의 동작온도에 따라 다양한 감지특정을 얻을 수 있다. 또 히터 양쪽의 감지박막의 종류를 다르게 함으로써 다이아프램위의 전 감지막이 모두 다른 감지특성을 가지게 되어 고집적 센서어레이를 구현하기 용이한 구조로 밝혀졌다.
A sensor array (3
W.P. Carey, K.R. Beebe, E. Sanchez, P. Geladi and B.R. Kowalski, 'Chemometric analysis of multisensor arrays', Sensors and Actuators, vol.9, pp. 223-234, 1986
V.Demame and A. Grisel, 'Domestic gas detection system using two integrated sensors', Sensors and Actuators B, vol.19, no.1 3, pp. 658-660, 1994
D. Bednarczyk, S.P. DeWeerth, 'Smart chemical sensing arrays using tin oxide sensors and analog winner-take all signal processing', Sensors and Actuators B, vol.26-27, pp, 271-274, 1995
X. Wang, W. Patyrick Carey, Sinclair S. Yee, 'Monolithic thin-film metal-oxide gas-sensor arrays with application to monitoring of organic vapors', Sensors and Actuators B, vol.28, pp. 63-70, 1995
S. Semancik, R. E. Cavicchi, K. G. Kreider, J. S. Suehle, P. Chaparala, 'Selected-area deposition of multiple active films for conducto-metric microsensor arrays', Sensors and Actuators B, vol.34, pp.209-212, 1996
Introduction to ANSYS-Revision 5.51, Ansys Inc., U.S.A., 2000
W-Y. Chung, J.-W Lim, D.-D. Lee, N. Miura and N. Yamazoe, 'Thermal and gas-sensing properties of planar-type micro gas sensor', Sensors and Actuators B. vol.64, pp.118-123, 2000
임준우, 온도 구배를 갖는 마이크로 가스센서 어레이의 제조 및 특성. 경북대학교 박사학위논문, 2000. 12
W.-Y. Chung, J.-W. Lim, D.-D. Lee and N. Yamazoe, 'Fabrication of low power micro-heater for micro-sensor I.The thermal distribu-tion analysis by the finite element method', J. Korean Sensors Society, vol.6(4), pp.337-344, 1997
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