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NTIS 바로가기한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology, v.2 no.3, 2003년, pp.31 - 36
권오진 (한국생산기술연구원 마이크로메카트로닉스팀) , 최성주 (한국기술교육대학교 기계공학부) , 이우영 (한국기술교육대학교 기계공학부) , 이강원 (한국생산기술연구원 마이크로메카트로닉스팀) , 박원규 (충남대학교 대학원)
On this study, an E.E(End-Effector) for the 300 mm wafer transfer robot system is newly suggested. It is a mechanical type with
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