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세라믹 압전체에 부착된 판 스프링의 유한요소해석과 질량 흐름 제어에 관한 연구
A Study on Mass Flow Control and FEA of Plate Spring Attached in Piezoelectric Ceramic 원문보기

한국동력기계공학회지 = Journal of the korean society for power system engineering, v.7 no.4, 2003년, pp.61 - 66  

이상경 ((주)엠파인) ,  김영수 (부경대학교)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, the relation between displacement of piezoelectric material and electric field was proposed. FEA was introduced to predict the displacement and reaction force of plate spring attached in the piezoelectric material. The relation between displacement of piezoelectric material forced by ...

주제어

#압전체   #스퍼터링   #굽힘 모멘트   #질량흐름제어   #유한요소해석   #판 스프링  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 통하여 구하였다. 이를 통하여 반도체 제작공정에 사용되는 설비의 질량흐름제어기에 필요한 압전체와 판스프링의 기구설계가 가능할 수 있도록 하였다. 인가전압과 유량의 관계를 실험을 통하여 구하여 입력인 전압과 출력인 유량의 사이의 관계를 정립함으로서 제어를 위한 모델링으로 사용할 수 있음을 확인하였다.
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