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문제 정의
- 본 연구에서는 flexible display에서 사용되는 4 종류의 ITO 필름의 barrier의 구조에 따른 투과율, 표면특성, bending 특성에 대하여 검토하였다. 먼저, 4종류의 ITO 필름 barrier 구조의 투과율을측정한 결과, 3종류의 구조에서 파장이 550nm 이상에서 약 90%의 두과율을 나타내었다.
- 본 연구에서는 다층박막을 이용한 ITO 필름의여러 가지 干조의 permeation barrier 필름의 투과율, 표면 관찰, stress 특성 등에 대하여 검토하였다.
가설 설정
- 즉, ITO 박막은 매우 불안정하고 상대적으로 위치 C, D에 더 많은 스트레스가 가해져 저항값이 증가하는 것으로 생각할 수 있다. 그림 6(c)의 경우는 필름의 중앙부분에 급격한 저항 변화율이 나타나지만, 그림 6(b)에서와 같이 끝 부분에서의 저항 변화율은 n다지 크지 않다. 그림 6(d)의 경우는 그림 6(a)에서와 같이 저항 값이 균일하게 증가하지만 bending에 의한 저항 변화율이 그림 6(a)에 비해 비교적 크다는 것을 알 수 있다.
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