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논문 상세정보

Abstract

In this study, we have developed a new UV$({\lambda}=355nm)$ laser micromachining technology by direct ablation method without masks. This technology allows that 3D micro parts can be fabricated rapidly and efficiently with a low price. And it has a benefit of reducing fabricating process simply. Due to micro parts' fabrication, such technologies need the control of XYZ stages with high precision, the design of optical devices to maintain micron spot sizes of laser beam and the control technology of laser focus. The developed laser manufacturing process for laser micromachining is that, after extracting coordinates of shape data from CAD model data, a beam path considering manufacturing features of laser beam is created by using genetic algorithm. This generated manufacturing process is sent to stage controller. In order to improve the surface quality of micro parts, we have carried out experiments on iteration manufacturing and beam step-over by using a minimum focus size. Moreover, we have fabricated a micro-channel through the developed laser micromachining technology and verified it through the results.

참고문헌 (18)

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이 논문을 인용한 문헌 (2)

  1. Shin B. S. ; Kim J. G. ; Chang W. S. ; Whang K. H. 2005. "Rapid Manufacturing of 3D Micro Products by UV Laser Ablation and Phase Change Filling" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 22(11): 196~201 
  2. 2006. "" International journal of precision engineering and manufacturing, 7(3): 56~59 

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