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논문 상세정보

RF 스퍼터링 법에 의한 사파이어 기판상의 ZnO 박막의 성장

ZnO film growth on sapphire substrate by RF magnetron sputtering

초록

ZnO 에피박막을 사파이어 기판의 (0001)면 상에 RF magnetron sputtering 법으로 성장하였다. 박막의 성장속도는 약 0.1~0.2$\mu\textrm{m}$/hr 였으며, 기판온도가 $600^{\circ}C$일 때, 약 400~500nm두께의 단결정상의 박막을 성장할 수 있었다. 성장된 단결정상 박막에 대하여 XRD분석과 TEM을 이용하여 박막의 품질과 미세구조를 평가하였다.

Abstract

ZnO epitaxial films have been grown on a (0001)sapphire substrate by RF magnetron sputtering. The single crystalline ZnO films were grown at the condition of growth rate of about 0.1~0.2 $\mu\textrm{m}$/hr and the substrate temperature of $600^{\circ}C$. The film thickness was about 400~500 nm. The thin film quality and micro-structure have been evaluated by XRD and TEM observation.

저자의 다른 논문

참고문헌 (8)

  1. K Tamura, A. Ohtomo and M. Kawasaki, 'ZnO ultraviolet lasers', Electronic Ceramics 12 (1999) 9 
  2. T. Minami, H. Sonohara, S. Takata and I. Fukuda, 'Low temperature formation of textures ZnO transparent electrodes byu magnetron sputtering', J. Vac. Sci. Technol. Al3 (1995) 1053 
  3. K.K. Kim, l.H. Song, H.l. lung and WK Choi, 'Photoluminescence and hetroepitaxy of ZnO on sapphire substrate (0001) grown by rf magnetron sputtering', J. Vac. Sci. Technol. A18 (2000) 2864 
  4. W. Water and S.Y. Chu, 'Physical and structural properties of ZnO sputtered films', Mat. Lett. (2002) 67 
  5. C.H.L. Goodman, in 'Crystal growth-Theory and techniques' (Plenum Press, New York and London, 1980) p.112 
  6. G. Xiong, l. Wilkinson, B. Mischuck, S. Tuzemen, KB. Veer and R.T. Williams, 'Control of p- and n-type conductivity in sputter deposition of undoped ZnO', Appl. Phys. Lett. 80 (2002) 1195 
  7. O. Agycman, C.N. Xu, W Shi, X.G. Zheng and M. Suzuki, 'Strong ultraviolet and green emissions at room temperature from annealed ZnO thin films', Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 666 
  8. K Ozaki and M. Gomi, 'Strong ultraviolet photoluminescence in polycrystalline ZnO sputtered films', Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 5614 

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