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NTIS 바로가기마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.11 no.2 = no.31, 2004년, pp.29 - 35
이태호 (한양대학교 재료공학과) , 오재민 (한양대학교 재료공학과) , 안진호 (한양대학교 재료공학과)
Hafnium-oxide gate dielectric films deposited by a metal organic chemical vapor deposition technique on a
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