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논문 상세정보

Abstract

Rotating compensator multichannel spectroscopic ellipsometry has been employed to determine the optical functions of various liquids used in chemistry. We attempted three different measurement configurations: (1) air-liquid interface, (2) prism-liquid interface, and (3) liquid-sample interface. In prism-liquid interface, we found that the prism surface had roughness and it should be considered in analysis for accurate results. In liquidsample interface, we had much higher reflection, better sensitivity, and less limitation compared to the other two configurations when crystalline silicon was used as reference sample. We discuss the merit of each configuration and present the optical functions of various liquids. Also we demonstrate Bruggeman effective medium theory to determine the optical properties of mixed liquid.

참고문헌 (21)

  1. Kim, Y.-T.; Collins, R. W.; Vedam, K. Surf. Sci. 1990, 223, 341 
  2. Kim, Y.-T.; Collins, R. W.; Vedam, K.; Allara, D. L. J. Electrochem. Soc. 1991, 138, 3266 
  3. Arwin, H. Thin Solid Films 1998, 313-314, 764 
  4. Hui, D.; Kim, J.; Kim, Y.-T.; An, I.; Paley, M. S. Thin Solid Films 2003, 437, 127 
  5. James, A.; Lord, M. VNR Index of Chemical and Physical Data; Van Nostrand Reinhold: New York, 1992 
  6. Grassi, J. H.; Georgiadis, R. M. Anal. Chem. 1999, 71, 4392 
  7. Moreels, E.; de Greef, C.; Finsy, R. Appl. Opt. 1984, 23, 3010 
  8. Murty, M. V. R. K.; Shukla, R. P. Opt. Eng. 1983, 22, 227 
  9. An, I.; Collins, R. W. Rev. Sci. Instrum. 1991, 62, 1904 
  10. Cahan, B. D.; Spanier, R. F. Surf. Sci. 1969, 16, 166 
  11. Aspnes, D. E.; Studna, A. A. Appl. Opt. 1975, 14, 220 
  12. Opsal, J.; Fanton, J.; Chen, J.; Leng, J.; Wei, L.; Uhrich, C.; Senko, M.; Zaiser, C.; Aspnes, D. E. Thin Solid Films 1998, 313-314, 58 
  13. Lee, J.; Rovira, P. I.; An, I.; Collins, R. W. Rev. Sci. Instrum. 1998, 69, 1800 
  14. An, I.; Lee, J.; Bang, K.; Kim, O.; Oh, H. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 2872 
  15. Bruggeman, D. A. G. An. Phys. 1935, 24, 636 
  16. Pelik, D. Handbook of Optical Constants of Solids; Academic Press: New York, 1985 
  17. Aspnes, D. E.; Theeten, J. B.; Hotier, F. Phys. Rev. 1979, B20, 3292 
  18. Lee, J.; Bang, K.; Kim, O.; Oh, H.; An, I.; Choi, C.; Park, C. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 1416 
  19. Mehra, R. Proc. Indian Acad. Sci. 2003, 115, 147 
  20. Witham, H. S.; Chindaudom, P.; An, I.; Collins, R. W.; Messier, R.; Vedam, K. J. Vac. Sci. Technol. A 1993, 11, 1881 
  21. Koh, J.; Lu, Y.; Wronski, C. R.; Collins, R. W. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 1297 

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