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A Study on the Design and Characteristics of thin-film L-C Band Pass Filter 원문보기

KIEE international transactions on electrophysics and applications, v.5C no.4, 2005년, pp.176 - 179  

Kim In-Sung (Electric & Magnetic Devices Research Group. Korea Electrotechnology Research Institute) ,  Song Jae-Sung (Electric &Magnetic Devices Research Group. korea Electrotechnology research Institute) ,  Min Bok-Ki (Electric & Magnetic Devices Research Group. Korea Electrotechnology Research Institute) ,  Lee Won-Jae (Electric & Magnetic Devices Research Group. Korea Electrotechnology Research Institute) ,  Muller Alexandru (Laboratory of Microsystem and Micromachined Microwave Components, IMT, Romania)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The increasing demand for high density packaging technologies and the evolution to mixed digital and analogue devices has been the con-set of increasing research in thin film multi-layer technologies such as the passive components integration technology. In this paper, Cu and TaO thin film with RF s...

주제어

#Integrated passive component   #thin-film L-C band pass filter   #high-Q   #MOM capacitor   #spiral inductor  

AI 본문요약
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제안 방법

  • In this study, high-Q spiral inductors and MOM capacitor were designed and fabricated on SiO2/silicon- p(100) substrate with a RF sputtering[4, 5]. In order to realize a thin-film L-C band pass filter on silicon substrate, passive components such as MOM capacitor and spiral inductor should be characterized first, and based on the equivalent circuit models of these components, a coupled resonation filter can be designed and fabricated.

대상 데이터

  • In addition, MOM capacitors fabricated on silicon substrates were also calibrated. A 1500 A thick sputtered Ta2O5 thin film was used as a oxide layer(metal-oxide- metal), and the capacitance density is around 0.21 fF/gm2. Based on the same evaluation, the Q-value fbr MOM capacitor reached 30 for the operating frequency below 2 GHz.
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참고문헌 (8)

  1. S Chaki et al., 'Experimental study on spiral inductor', IEEE MTT-S digest, pp. 753-756, 1995 

  2. Y. C. Shih et al., 'A broad band parameters extraction technique for the equivalent circuit of planar inductrors', IEEE MTT-S Digest, pp1345-1348, 1992 

  3. Sonnet user's manual, 2003 

  4. I. S. Kim, J. S. Song, M. S. Yun and J. H. Park, 'The Study on Dielectric Property and Thermal Stability of $Ta_2O_5$ Thin-films for RF Passive Devices', KIEE Transaction Vol. 51 C, No. 5, pp 185-190 (2002) 

  5. B. K. Min, I. S. Kim, J. S. Song, 'A Study on the Design and Characteristics of L-C thin films Filter at Microwave Band', in SPIE symp., 2004 

  6. J. Helszajin. 'Microwave planar passive circuit and filters', John Wiley & Sons Lted., 1994 

  7. S. A. Maas, Microwave Mixer Norwood, MA:Artech House, 1993 

  8. H. Do Ky, S. Meszaros, M. Cuhaci, B. Syrett, 'Physical Lumped Modeling of thin film MIM capacitor' 

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