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논문 상세정보

High Precision Measurement of 3D Profile Using Confocal Differential Heterodyne Interferometer

Abstract

The differential heterodyne interferometer (DHI) is suitable for precise measurement of step height and line width, since its differential configuration can significantly reduce disturbances from the environment [1,2]. Like most phase measuring interferometers, however, the DHI is limited, in that it can obtain only the phase from 0 to 2π, because of the sinusoidal nature of the optical interference involved. Thus, the measurable step height is limited to one quarter of the wavelength of the light source. This study describes a confocal differential heterodyne interferometer (CDHI) for measuring step heights of several micrometers, with a high resolution and line width with high repeatability. The CDHI has a simple structure and rapid measurement speed.

참고문헌 (4)

  1. H. J. Tiziani, N. Maier, and A. Rothe, 'Scanning differential-heterodyne interferometer with acousto-optic deflectors,' Optics communications, vol. 123, no.1/3, pp. 34-40. 
  2. S. H. Lu, C. I. Chiueh, and C. C. Lee, 'Differential wavelength-scanning heterodyne interferometer for measuring large step height,' Applied Optics, vol. 41, no. 28, pp. 5866-5871 
  3. H. Chung, 1. M. Walpita, and William S. C. Chang, 'Simplified differential phase optical microscope,' Applied Optics, vol. 25, no. 18, pp. 3014-3017 
  4. H. J. Tiziani, A. Rothe, and N. Maier, 'Dual-wavelength heterodyne differential interferometer for high-precision measurements of reflective aspherical surfaces and step heights,' Applied Optics, vol. 35, no. 19, pp. 3525-3533 

이 논문을 인용한 문헌 (1)

  1. 2006. "" Journal of the Optical Society of Korea, 10(3): 130~142 

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