• 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

논문 상세정보

Amorphization of Silicon by 250 keV Electron Irradiation and Hydrogen Annealing


We observed that optical properties of silicon changed under high dose electron irradiation at 250 keV. Our experimental results revealed that the optical transmission through a silicon wafer is significantly increased by electron irradiation. Transmission increase by the change in the absorption coefficient is explained through an analogy with amorphous silicon. Moreover, solar cell open-circuit voltages indicated that defects were generated by electron irradiation, and that the defects responded to annealing. Our results demonstrated that the optical properties of silicon can be controlled by a combination of electron irradiation and hydrogen annealing.

참고문헌 (13)

  1. T. Tabata, P. Andreo, and K. Shinoda, 'An algorithm for depth-dose curves of electrons fitted to Monte Carlo data', Radiat. Phys. Chem., vol. 53, pp. 205- 215, Mar. 1998 
  2. K. Laaziri, S. Kycia, S. Roorda, M. Chicoine, J. L. Robertson, J. Wang, and S. C. Moss, 'High energy xray diffraction study of pure amorphous silicon', Phys. Rev. B vol. 60, no. 19, pp. 13520-13533, Nov. 1999 
  3. Sung-Chae Yang, Byung-Yoon Chu, Seol-Cheol Ko, and Byung-Sung Han, 'Relationship between secondary electron emissions and film thickness of hydrogeneated amorphous silicon', KIEE Int. Trans. on EA, vol. 4-C, no. 4, pp. 185-189, 2004 
  4. J. Jo, J. Park, Z. Y. Shen, H. S. Lee, J. H. Lee, and Y. Nishihara, 'Comparison of breakdown behavior in electron-irradiated and proton-irradiated silicon pn junctions', Jpn. J. Appl. Phys., vol. 39, no. 7B, pp. 4660-4662, July 2000 
  5. Z. Y. Shen, H. S. Lee, J. H. Lee, J. Park, H. J. Kim, S. H. Lee, J. Jo, and Y. Nishihara 'Transient breakdown behavior in electron-irradiated and proton-irradiated silicon pn junctions', Appl. Phys. Lett., vol. 76 no. 7, pp. 888-890, Feb. 2000 
  6. For example, S. J. Pearton, J. W. Corbett, M. Stavola, 'Hydrogen in Crystalline Semiconductors', Springer- Verlag, 1991 
  7. J. Jo, H. J. Kim, Y. Nishihara, H. Suezawa, J. C. Lee, V. Soghomonian, and J. J. Heremans, 'Modification of silicon optical properties by 250 keV electron irradiation', Jpn. J. Appl. Phys., vol. 43, no. 4A, pp. 1237-1240, Apr. 2004 
  8. M. J. A. Dood, A. Polman, T. Zijlstra, E. W. J. M. Drift, 'Amorphous silicon waveguides for microphotonics', J. Appl. Phys., vol. 92, no. 2, pp. 649-653, Jul. 2002 
  9. G. Cocorullo, F. G. Della Corte, I. Rendina, C. Minarini, A. Rubino, and. Terzini, 'Amorphous silicon waveguides and light modulators for integrated photonics realized by low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition', Opt. Lett., vol. 21, no. 24, pp. 2002-2004, Dec. 1996 
  10. Y. S. Su and S. T. Pantelides, 'Diffusion mechanism of hydrogen in amorphous silicon: Ab Initio molecular dynamics simulations', Phys. Rev. Lett., vol. 88, no. 16, pp. 165503-165506, Apr. 2002 
  11. M. Loncar, T. Doll, J. Vuckovic, and A. Scherer, 'Design and fabrication of silicon photonic crystal optical waveguides', J. of Lightwave Tech., vol. 18, no. 10, pp. 1402-1411, Oct. 2000 
  12. Ki-Yup Kim, Boo-Hyung Ryu, Chung Lee, and Kee- Joe Lim, 'Radiation effects on gamma-ray irradiated ethylene propylene rubber using dielectric analysis', KIEE Int. Trans. on EA, vol. 3-C, no. 2, pp. 48-54, 2003 
  13. J. S. Custer, M. O. Thompson, D. C. Jacobson, J. M. Poate, S. Roorda, W. C. Sinke, and F. Spaepen, 'Density of amorphous Si', Appl. Phys. Lett., vol. 64 no. 4, pp. 437-439, Jan. 1994 

이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음


원문 PDF 다운로드

  • ScienceON :

원문 URL 링크

원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다. (원문복사서비스 안내 바로 가기)

상세조회 0건 원문조회 0건

DOI 인용 스타일