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논문 상세정보

초록

수 마이크로 단위로 계측되는 반도체 COG의 검사 정밀도를 높이기 위해서 라인스캔 카메라가 이용된다. 여러 가지 불량 요인 중 이물질 검출은 COG 패턴이 미세하고 복잡하기 때문에 불량 자동 검사 단계에서 가장 어려운 기술이었다. 본 논문에서는 매칭 속도를 높이기 위하여 2단계 영역분할 템플릿 매칭 방법을 제안하였다. 아울러 수 마이크로 단위의 이물짙 검출을 위하여 그라디언트 마스크와 AND 연산을 이용한 새로운 방법을 제안하였다. 제안된 2단계 템플릿 매칭을 사용한 방법은 기존의 상관 계수 이용법 에 비해 0.3-0.4초 매칭 속도를 향상시켰다. 그리고 제안된 마스크 적용 이물질 검출방법은 기존 마스크를 이용하지 않은 방법에 비해 불량 검출률을 $5-8\%$ 향상시켰다.

Abstract

A line scan camera is applied to enhance COG(Chip On Glass) inspection accuracy to be measured a few micro unit. The foreign substance detection among various faulty factors has been the most difficult technology in the faulty automatic inspection step since COG pattern is very miniature and complexity. In this paper, we proposed two step area segmentation template matching method to increase matching speed. Futhermore to detect foreign substance(such as dust, scratch) with a few micro unit, the new method using gradient mask and AND operation was proposed. The proposed 2 step template matching method increased 0.3 - 0.4 second matching speed compared with conventional correlation coefficient. Also, the proposed foreign substance applied masks enhanced $5-8\%$ faulty detection rate compared with conventional no mask application method.

참고문헌 (9)

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  2. Cleaver, T. G., Su, C.-L., 'Registration Teclmiques for Image Subtraction,' IEEE Conference Proceedings 11-13, pp. 205-210,1988 
  3. 나재형, 오해석, '웨이퍼 다이 위치 인식을 위한 명암 영상코너점 검출.' 정보과학회논문지,소프트웨어 및 응용 제31권 제6호, 2004 
  4. Zheng, Z., Wang, H. and Teoh, K., 'Analysis of graylevel cornerdetection,' Pattern Recognition Letters, Vol.20, pp. 149-162, 1999 
  5. A. Roddy and J. Stooz, 'Fingerprint Features: Statistical Analysis and System Performance EstinIates,' Proc. of IEEE, Vol. 85, No.9, pp. 1390-1421, 1997 
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이 논문을 인용한 문헌 (1)

  1. Lee, Sang-Won ; Choi, Hwan-Yong ; Lee, Dae-Jong ; Chun, Myung-Geun 2012. "Development of Real-Time TCP/COF Inspection System using Differential Image" 한국지능시스템학회 논문지 = Journal of Korean institute of intelligent systems, 22(1): 87~93 

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